POD&Cassette 洗濯机

• 接纳成熟的冲水及热烘的洗濯方案

• 利用高波动性产品装载洗濯布局

• 统一平台支持差别载具的装载与洗濯

• POD, FOUP, Cassette, 种种非规矩的parts等

• 高洗濯服从（12UPH for POD）

• 测试方法：

  洗濯后安排wafer静置，然后测试增长particle

Sassette六轴丈量仪

• 多种规格Cassette兼容

• 测试点位可设置装备摆设

• 测试参数可设置装备摆设

• 主动天生测试陈诉

• 测试有记载可盘问

• FAB占用空间小

• Recipe设定保管，可疾速导入
  

RSP Stock

大存储容量----1100+

 RSP ID获取；

 RSP窗口放入，主动传送&就近存储；

 RSP拿取方法---MES下令或当地终端操纵 

宁静步伐

 夹爪力度感到，制止失片或夹坏RSP RSP入位感到，确保RSP安排正确 

办理体系功效：

 MES接口功效，及时更新RSP存储地位 

 吸收MES指令，完成RSP取放

兼容品种：

• RSP

• POD 

• Foup 

• BOX

小情况

· 用于wafer Start,Mask Room以及其他必要表露wafer/Mask 场所；
· 干净品级可从Class100污染到Class1;
· 化学过滤率可达90%，继续12个月（需增长化学过滤器）;
· 具情况静电去除功效，掩护产品免受ESD破坏；
· 可依据实践园地举行长宽高定制；
· 可增设门禁体系，设置收支职员权限；

推片器

· 抗静电质料；推杆利用耐磨质料；

· Cassette 在位感到，避免误操纵;
· 兼容绝大少数cassette范例;
· 支持随启随停；
· 可依据客户详细要求定制；

洗濯机

· 接纳成熟的冲水及热烘的洗濯方案；
· 利用高波动性产品装载洗濯布局;
· 统一平台支持差别载具与洗濯;

电子货架

· 储位光感到设计，波动性与牢靠性高；